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»ï¼ºÁß°ø¾÷Àº 2020³â EUV °øÀå µî ÆÄÀÏ·µ °ø»ç¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ÇöÀç P3L Ph2(»óÃþ¼Æí), Ph3(ÇÏÃþµ¿Æí), Ph4(»óÃþµ¿Æí) FABµ¿ ¸¶°¨°ø»ç¸¦ ¼öÇàÇϰí ÀÖ´Ù.
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<¿ë¾îÇØ¼³: EUV(Extreme Ultraviolet) : ±ØÀڿܼ±À» ÀÌ¿ëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â °øÁ¤. FAB(Fabrication) : ¿øÀÚÀçÀÎ Wafer °¡°øÀÌ ÁøÇàµÇ´Â ¶óÀÎ>